一种环保强碱药水TGV玻璃通孔湿法蚀刻加工方法

本发明公开了一种环保强碱药水TGV玻璃通孔湿法蚀刻加工方法及制备的基板，属于玻璃加工技术领域。该方法包括基板预处理、激光改性、环保强碱湿法蚀刻、中和清洗烘干、通孔检测等步骤，还可对合格基材进行等离子活化、金属种子层沉积及电镀填孔处理。本发明采用无氟环保强碱蚀刻液，结合超快飞秒激光改性和两段式分步蚀刻工艺，可实现最小5μm成型孔径，深宽比达20:1以上，有效减少硅垢沉积和孔壁缺陷。制备的基板适用于三维先进封装等集成制程，具有环保性好、加工精度高、实用性强的优势，解决了传统含氟蚀刻液污染环境、通孔加工质量差等问题，可实现规模化量产。