定位装置

本发明的目的在于提供一种定位装置，其能够在任意的目标位置检测由载置台的姿态角的变化引起的定位对象物的定位误差。具体而言，本发明的定位装置具备：基部；载置台，其支承于所述基部，设任意确定的移动方向为X方向，将包含所述X方向及与所述X方向垂直的Y方向的平面作为搭载面，所述载置台向所述X方向的任意位置移动；以及X方向目标位置检测部，其对所述载置台相对于所述基部的所述X方向上的位置即X方向目标位置进行测量，所述定位装置将搭载于所述载置台的搭载面的定位对象物定位到所述X方向的任意位置。所述定位装置具有检测绕Z轴线的旋转的绕Z轴检测部、用于检测绕Y轴线的旋转的绕Y轴检测部、以及检测绕X轴线的旋转的绕X轴检测部中的至少一个。