案件記録

MEASUREMENT METHOD FOR DETERMINING A REPLICATION PARAMETER, AND REPLICATION METHOD USING THE DETERMINED REPLICATION PARAMETER

発明審査中

2閲覧数

§ Ⅰ

案件概要

出願人

Carl Zeiss Jena GmbH

元の名称記録: Carl Zeiss Jena GmbH · すべての特許を表示特許出願人の記録

発明者

GIEHL, Markus; BLECHSCHMIDT, Christian

出願日

Feb 26, 2024

公開日

Jan 6, 2026

IPC分類

G01MG03HG03HG03HG03H

CPC分類

G03HG03H2223/14G03H2226/11G03H2001/2244G03H2001/2247G03HG03HG03H2001/266G03H2222/36G03H2222/46G03H2222/34G03H2222/52G03HG03H2001/205G03H2001/0491G03H2227/03G03H2001/0415G03H2240/53

外部リソース

Google Patents Espacenet