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案件記録
IMPEDANCE MATCHING MODULE, IMPEDANCE MATCHING CIRCUIT, PLASMA PROCESS SUPPLY SYSTEM AND PLASMA PROCESS SYSTEM
発明審査中
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
NORDMANN, Birger
出願日
Feb 26, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
H01JH03HH05K
CPC分類
H01JH03HH05K
外部リソース
発明者
NORDMANN, Birger
出願日
Feb 26, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
CPC分類
外部リソース