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案件記録
IMPEDANCE MATCHING MODULE, IMPEDANCE MATCHING CIRCUIT, PLASMA PROCESS SUPPLY SYSTEM AND PLASMA PROCESS SYSTEM
発明審査中
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
NORDMANN, Birger
出願日
Feb 26, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
H01JH03HH03HH05KH05K
CPC分類
H01JH05KH05KH05KH01FH01F
外部リソース