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案件記録
WAFER CARRIER WITH SCAVENGING DEVICE
発明審査中
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
HUANG, Shih-Hsuan; LEEDLE, Melvin Joshua; SUTER, John D. II; ANGEL, Juan; PURAYATH, Vinod; MESSMORE, Benjamin; SCAGLIONE, Heather; OHAMA, Kenta
出願日
Feb 26, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
H01L
CPC分類
H01L
外部リソース