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案件記録

DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME

発明審査中
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

LEE, Sungyong; KANG, Eugene; SEO, Changwook; SUNG, Byunghun; OH, Daeyoung; YUN, Seung Geun; LEE, Sangkeun; JEONG, Yongwoo

出願日

Jun 25, 2025

公開日

Jan 6, 2026

IPC分類

C23CC23CH01KH01LH10K

CPC分類

H01KC23CC23CH01LH10K

外部リソース