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案件記録
DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME
発明審査中
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
LEE, Sungyong; KANG, Eugene; SEO, Changwook; SUNG, Byunghun; OH, Daeyoung; YUN, Seung Geun; LEE, Sangkeun; JEONG, Yongwoo
出願日
Jun 25, 2025
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
C23CC23CH01KH01LH10K
CPC分類
H01KC23CC23CH01LH10K
外部リソース