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案件記録
ADAPTER APPARATUS AND SEMICONDUCTOR PROCESS DEVICE
発明審査中
§ Ⅰ
案件概要
出願人
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
発明者
LIU, Dongxu; MA, Hongshuai; NAN, Jianhui; ZHAO, Hongyu
出願日
Feb 27, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
F16LH01L
CPC分類
Y02A
外部リソース