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案件記録
ONIUM SALT MONOMER, POLYMER, CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, AND RESIST PATTERN FORMING PROCESS
発明審査中
§ Ⅰ
案件概要
発明者
FUKUSHIMA, Masahiro
出願日
Jun 29, 2025
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
G03FG03FC07CC07CC07CC07CC07DC07DC08FC08FC08FC08FC09D
CPC分類
G03FG03FC07CC07DC07DC07CC07CC07CC08FC08FC08FC09DC08F
外部リソース