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案件記録

SUBSTRATE TREATMENT METHOD

発明審査中
§ Ⅰ

案件概要

出願人

SCREEN Holdings Co., Ltd.

元の名称記録: SCREEN Holdings Co., Ltd. · すべての特許を表示特許出願人の記録

発明者

NISHIMURA, Yuta

出願日

Feb 5, 2024

公開日

Jan 6, 2026

IPC分類

G03FH01LH01L

CPC分類

H01LH01LG03F

外部リソース

Google PatentsEspacenet