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案件記録
SPUTTERING APPARATUS AND METHOD
発明審査中
§ Ⅰ
案件概要
発明者
The designation of the inventor has not yet been filed
出願日
Jul 3, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
H01JH01J
CPC分類
H01JH01JH01JH01JH01JH01JH01J
外部リソース
発明者
The designation of the inventor has not yet been filed
出願日
Jul 3, 2024
公開日
Jan 6, 2026
IPC分類
CPC分類
外部リソース