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案件記録

기판처리방법

発明審査中
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

주식회사 테스

元の名称記録: 주식회사 테스 · すべての特許を表示特許出願人の記録

発明者

정우영; 이환희; 윤영일; 김종욱

出願日

Jun 24, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/2C23C 16/26C23C 16/507H1J 37/32H1L 21/33

CPC分類

H1L21/2274C23C16/26C23C16/507H1J37/321H1J37/32128H1L21/2115H1L21/332

外部リソース

Google PatentsEspacenet