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案件記録

회전을 이용한 반도체 제품 이물 제거 장치

発明審査中
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

람다마이크로 주식회사; 김동율

元の名称記録: 람다마이크로 주식회사; 김동율 · すべての特許を表示特許出願人の記録

発明者

김동율; 권두원

出願日

Jun 24, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/67H1L 21/687

CPC分類

H1L21/6704H1L21/67034H1L21/68764

外部リソース

Google PatentsEspacenet