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案件記録

감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

미요시 타로; 야마구치 슈헤이; 모토야마 히로키

出願日

Jan 18, 2023

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

G3F 7/4C8F 212/14C8F 220/26G3F 7/38G3F 7/39G3F 7/20H1L 21/27

CPC分類

G3F7/4C8F212/14C8F220/26G3F7/45G3F7/382G3F7/397G3F7/20H1L21/274

外部リソース