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案件記録

스퍼터링 타깃

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

데라무라 교스케; 히로후지 겐타로

出願日

Jan 16, 2023

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

C23C 14/34H1J 37/34

CPC分類

C23C14/3414H1J37/3423H1J37/3429H1J37/3491

外部リソース

Google PatentsEspacenet