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案件記録

플라즈마 에칭 장치 및 플라즈마 에칭 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

타나카 사토시

出願日

Mar 26, 2020

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1J 37/32H1L 21/3065

CPC分類

H1J37/32174H1J37/32146H1J37/3244H1L21/3065

外部リソース

Google PatentsEspacenet