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案件記録

기판 연속 제조장치의 에어필터 설치구조

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

김영환

出願日

Oct 17, 2023

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

B1D 46/

CPC分類

B1D46/5B1D46/1

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