案件記録

화학적 기계적 연마를 위한 소형 패드를 위한 캐리어

発明patent.status.granted

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§ Ⅰ

案件概要

出願人

発明者

첸, 후이; 주니가, 스티븐 엠.; 첸, 헝 치; 라우, 에릭; 신, 가렛, 호 이; 창, 쇼우-성

出願日

Dec 2, 2016

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/304B24B 37/10B24B 37/22B24B 37/26B24B 37/30H1L 21/306H1L 21/67

CPC分類

H1L21/304B24B37/105B24B37/22B24B37/26B24B37/30H1L21/30625H1L21/67092

外部リソース