CNIPA.AI
検索に戻る
案件記録

기판 처리 방법 및 기판 처리 장치

発明patent.status.granted
8閲覧数
§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

스미 노리타케

出願日

Aug 23, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/2H1L 21/67H1L 21/677H1L 21/687

CPC分類

H1L21/2101H1L21/2057H1L21/67034H1L21/67051H1L21/67155H1L21/67742H1L21/67748H1L21/68728

外部リソース

Google PatentsEspacenet