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案件記録

기판 처리 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

이윤영; 손진철

出願日

Sep 21, 2022

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/311H1L 21/33

CPC分類

H1L21/31122H1L21/332H1L21/31144

外部リソース

Google PatentsEspacenet