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№ KR1029065610000B1
案件記録
기판 처리 장치
保存
発明
patent.status.granted
8
閲覧数
§ Ⅰ
案件概要
出願人
特許出願人の記録
発明者
김형규; 오승훈; 김은석; 권혜빈
出願日
Jun 10, 2024
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
H1L 21/67
CPC分類
H1L21/67034
H1L21/67098
H1L21/67248
外部リソース
Google Patents
Espacenet