検索に戻る
案件記録

기판 처리 장치

発明patent.status.granted
7閲覧数
§ Ⅰ

案件概要

発明者

김형규; 오승훈; 김은석

出願日

May 28, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/687H1L 21/67H1L 21/677

CPC分類

H1L21/68785H1L21/67017H1L21/67778H1L21/68742H1L21/68764

外部リソース