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№ KR1029065710000B1
案件記録
기판 처리 장치
保存
発明
patent.status.granted
7
閲覧数
§ Ⅰ
案件概要
出願人
特許出願人の記録
発明者
김형규; 오승훈; 김은석
出願日
May 28, 2024
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
H1L 21/687
H1L 21/67
H1L 21/677
CPC分類
H1L21/68785
H1L21/67017
H1L21/67778
H1L21/68742
H1L21/68764
外部リソース
Google Patents
Espacenet