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案件記録

플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

마츠우라 히로유키; 안도 다케시

出願日

Jul 7, 2021

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1J 37/32

CPC分類

H1J37/32862H1J37/32174H1J37/32559H1J37/32743H1J37/32788H1J2237/3321

外部リソース

Google PatentsEspacenet