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案件記録

레이저 공정을 이용하여 양자기술용 질소-공극 센터 특성을 최적화하는 소자 제작 장치 및 그 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

양민양

出願日

May 29, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H10D 48/G6N 10/40H10D 62/10

CPC分類

H10D48/383G6N10/40H10D62/118

外部リソース