案件記録

나노 유체 디스펜서, 이를 구비하는 반도체 소자 제조 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법

発明patent.status.granted

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§ Ⅰ

案件概要

出願人

発明者

김보흥; 호세인 자베르 알; 카림 카지 에사눌; 오채린

出願日

May 26, 2025

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/67B5C 11/10B5C 13/2B5C 5/2C23C 16/455H1L 21/2H1L 21/285H1L 21/311

CPC分類

H1L21/6708B5C11/1013B5C13/2B5C5/208C23C16/45565H1L21/2043H1L21/2271H1L21/28556H1L21/31111H1L21/67051

外部リソース