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案件記録

기판 처리 장치

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

크루피쉐브 알렉산더; 샤록 리 에프.; 할리세이 조셉

出願日

Feb 7, 2018

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/677B25J 15/6B25J 9/4H1L 21/67H1L 21/687

CPC分類

H1L21/67742B25J15/616B25J9/42H1L21/67167H1L21/67196H1L21/67259H1L21/68707

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