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№ KR1029073850000B1
案件記録
기판 처리 장치
保存
発明
patent.status.granted
7
閲覧数
§ Ⅰ
案件概要
出願人
特許出願人の記録
発明者
크루피쉐브 알렉산더; 샤록 리 에프.; 할리세이 조셉
出願日
Feb 7, 2018
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
H1L 21/677
B25J 15/6
B25J 9/4
H1L 21/67
H1L 21/687
CPC分類
H1L21/67742
B25J15/616
B25J9/42
H1L21/67167
H1L21/67196
H1L21/67259
H1L21/68707
外部リソース
Google Patents
Espacenet