№ CN121362416A발명
유효复合材料、工作模及其制备方法
本申请实施例涉及纳米压印技术领域,并提供一种复合材料、工作模及其制备方法。该复合材料用于制备纳米压印技术中的工作模。该复合材料包括一聚合物基质、多个形状记忆合金纳米颗粒以及多个负热膨胀材料纳米颗粒。多个形状记忆合金纳米颗粒分散于所述聚合物基质中。多个负热膨胀材料纳米颗粒分散于所述聚合物基质中。在第一温度下,所述复合材料固化并具有为零的整体热膨胀系数。当所述复合材料从第一温度冷却至第二温度时,所述复合材料因所述形状记忆合金纳米颗粒的相变而自发收缩。
❖业桓科技(成都)有限公司; 业成科技(成都)有限公司; 业成光电(深圳)有限公司; 英特盛科技股份有限公司杨佳桂; 张志鹏§ 3/10 청구항C08L 33/00 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01), C08L 63/00 (2006.01) +312