无锡市锡山区半导体先进制造创新中心

本发明公开了一种液体静压导轨立柱装配垂直度检测装置及方法，装置包括标准块、检测支架及光谱共焦位移传感器，标准块和检测支架适于布置于导轨底座的上表面并与标准块的第一标准面贴合，检测支架上设有二维微调锁紧机构；光谱共焦位移传感器安装于二维微调锁紧机构上；其中，通过二维微调锁紧机构来对光谱共焦位移传感器的水平位置进行微调，以使光谱共焦位移传感器与第一标准面的距离在预定工作距离范围内，并通过光谱共焦位移传感器采集第一标准面的第一位移值作为基准位移值；调整检测支架的姿态，以使检测支架的定位滚珠与导轨立柱的待测面贴合，并通过光谱共焦位移传感器采集待测面上纵向分布的多个待测点的第二位移值，以便根据多个待测点的第二位移值与基准位移值，来确定导轨立柱相对于导轨底座的装配垂直度。本发明能够有效提升液体静压导轨装配阶段垂直度的检测效率、检测精度及检测便捷性。