№ CN121398045A발명
유효一种场效应晶体管的制造方法、场效应晶体管及版图结构
本申请提供一种场效应晶体管的制造方法、场效应晶体管及版图结构,该晶体管将屏蔽栅和栅极分开放置,使得屏蔽栅均匀接触源极金属,以便及时响应状态变换,避免器件在局部击穿;且在屏蔽栅顶端对氧化层进行减薄,在反向恢复时减小反向恢复电荷的注入。本发明通过调整屏蔽栅的位置、减薄屏蔽栅氧化层厚度,有效地提高器件的Eas能力,减小了晶体管的反向恢复时间,提升了其反向恢复能力,改善了可靠性。
❖重庆平伟实业股份有限公司陶霖; 唐玉玲; 黄安柠§ 3/7 청구항H10D 30/01 (2025.01), H10D 30/66 (2025.01), H10W 20/42 (2026.01) +29