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本发明涉及过程控制技术领域，具体为一种基于多参量解耦算法的多仓室设备过程控制方法，包括，获取各仓位角色标识和第一过程变量当前值，按角色标识调用物理约束映射确定第二过程变量上限值并注入执行器；计算第一过程变量变化率，当变化率大于按角色调用的进入阈值时判定进入非平衡阶段，将目标靶点替换为解耦设定值，并切换为前馈‑反馈复合控制；当主导角色仓位进入非平衡阶段时，对从属角色仓位提前下发预切换指令；最后，对于本地触发仓位，当变化率连续多周期低于回切阈值即恢复状态；对于预切换仓位，待过程介质输运至出口且自身变化率连续多周期低于回切阈值时恢复。本发明通过多参量解耦，实现了跨仓室平稳过渡。