№ CN121380847A발명
유효一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺
本发明涉及码盘产品镀膜工艺领域，具体涉及一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺。本发明公开了一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺，包括S1基材预处理、S2高反层镀膜、S3低反蓝膜镀膜、S4光刻胶涂覆、S5母版制作、S6显影和S7蚀刻七步。本发明通过参数精准控制，使高反码道与低反蓝膜形成强烈对比度，显著提升信号准确性、抗干扰能力及码盘精度，适用于高脉冲数场景，且生产效率高。
❖南京科利德光电材料有限公司熊波§ 1/10 청구항C23C 14/18 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01) +28