纳克微束（北京）有限公司

本发明公开一种基于FPGA可重构并行架构的精密仪器真空测控系统及方法，该系统包括并行主控模块、多通道同步模数采集模块、多路分压模拟调理电路、多路分压DI保护电路、泵阀隔离继电器驱动阵列、以太网模块、上位机及通用IO拓展模块。并行主控模块为FPGA主控芯片，内置多路真空拟合、分子泵功率运算、双硬件锁及真空气源多维联锁单元；同步采集多路真空、气源压力及泵电参量，无采样时序偏差；预抽连通阀和主腔隔离阀由真空达标硬件解锁，真空跌落微秒级关断，软件无法越权开启；高压联锁同步纳入真空、气源、泵功率多维度判定，异常瞬时切断。全硬件并行，响应微秒级，无需改动PCB，仅更新固件即可切换工艺适配不同设备，显著提升安全性与通用性。