№ CN122945194A발명
알 수 없음光学干涉滤光器
在一些实施方式中,光学干涉滤光器包括:基板;以及被设置在基板上的层集合,其中层集合包括:层的第一子集;以及层的第二子集;其中:层的第一子集中的每一层包括氮化铝(AlN)材料,层的第一子集中的每一层的应力在‑1000和800兆帕之间,层的第一子集具有第一折射率,该第一折射率具有第一值,层的第二子集中的每一层包括至少一种其它材料,层的第二子集具有第二折射率,该第二折射率具有不同于第一值的第二值,并且光学干涉滤光器具有大于或等于第一值和第二值中的最高值的95%的有效折射率。
❖VIAVI科技有限公司G·J·奥克肯福斯; 杨金辉; M·格里戈尼斯; K·D·亨德里克斯; A·什卡布科Oct 20, 2026§ 3/20 청구항G02B 5/28 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01) +5