苏州科联盈自动化系统有限公司

本发明涉及一种氦气检测动态校准方法及系统，方法包括采集氦气检测总信号、检测腔真空度、环境温湿度、氦气本底浓度以及干扰气体信号；控制漏率不同的标准氦漏孔按照预设编码序列向检测气路进行微量注氦；根据预设编码序列从氦气检测总信号中识别标准校准信号，并更新氦气检测仪的灵敏度、零点基线和传输延迟；依次扣除标准校准信号、氦气本底信号、残留信号和放气干扰信号，获得工件真实漏率；根据工件真实漏率和当前误差范围进行合格判定，并对临界工件自动加强校准和复检；记录每次动态校准形成的校准特征，并根据校准特征的变化趋势预判设备故障。本发明通过编码注氦动态校准和多层信号剥离，实现了不停机在线校准和全量程高精度补偿。