원래 이름 기록: 江苏师范大学; 江苏天晶智能装备有限公司

本发明提供了一种悬垂动态网络多线切割装置及方法，旨在解决传统多线切割在超硬脆材料加工中存在的切割效率低、材料易翘曲、成品收集难的问题。该装置采用X、Y两垂直方向的双层罗拉结构，X向罗拉在外层，Y向罗拉在内层，两层罗拉间预留空隙；X、Y向金刚石线亦保留空隙，且空隙处设置喷嘴降温装置，实现切割过程中的实时冷却，有效抑制材料翘曲；同时在内部罗拉结构中心设置收集装置，自动收集切割后的块状成品。本发明通过构建动态网络切割系统，实现圆柱体物料向块状的高效、高精度切割，提升加工质量与效率，尤其适用于碳化硅、氮化镓等超硬脆半导体材料加工，为半导体产业链上游衬底加工提供关键技术支撑。

本发明提供了一种基于数据驱动的半导体线切割参数选定的系统及方法，通过对大量半导体线切割历史工艺数据进行整理与训练，构建“材料‑参数”数据库及智能训练模型。针对不同半导体材料，以及不同切割需求，能够快速从数据库中匹配或由模型推演得出合适的切割线孔径、线张力、线速度、物料进给速率、工作温度、切割液流量等实际切割参数；面对新材料时，可借助模型快速推演出适配的切割参数，减少试错成本，提升半导体线切割的效率与精准度，具有显著的经济与技术价值。

本发明提供了一种水导激光超硬材料切割的智能化激光脉冲监测装置和方法，包括运算控制子系统、超快激光控制子系统、功率控制子系统、电机控制子系统、偏振控制子系统、光束对准子系统及自相关仪子系统。运算控制子系统通过多接口实现双向数据通信；超快激光控制子系统生成标准水导激光器工作波长激光；功率、偏振、光束对准子系统实现功率精准调控、入射光水平偏振保障、光束精准对准；电机控制子系统驱动光学元件实现精密调节；自相关仪子系统完成激光脉冲测量。本发明解决传统自相关仪操作繁琐、依赖人工经验、动态适应性差等问题，显著提升测量效率与精度，降低操作门槛，可广泛应用于超快激光研究、精密加工，适应超硬脆材料智能智造需求。

本发明提供了一种基于神经网络优化的半导体线切割线张力调节装置与方法，包括：算法处理中央系统、参数反馈系统、物料切割系统。算法处理中央系统包括系统控制器，初始参数输入；参数反馈系统包括线切割张力反馈，工作温度反馈，实时切割质量反馈；物料切割系统包括物料平台，切割液输送装置，罗拉结构和收放线轮等。方法：前期对不同线切割工作时的线孔径、材料特性、切割线表面质量、线张力、线速度、物料进给速率、工作温度、切割液流量、以及对应的切割速率、切割精度等大量参数数据的采集，通过神经网络预训练，并结合实时优化算法，获得最优的切割参数，以此获得更快的切割速率和更高的切割精度。

本发明提供了一种碳化硅晶圆多线切割的全系统冷却装置及方法，通过“电机水冷‑冷却液净化‑电器柜恒温‑压缩机冷却”的全系统冷却网络，搭配“应力传感+罗拉微槽”的线体精准控制结构：电机采用主轴水冷轴带流量控制的双路冷却设计，冷却液集成多级过滤与恒温模块，电器柜加装精密空调，压缩机配备专用水冷套；同时通过收放线轮两端的应力传感器实时监测线体状态，罗拉微槽约束金刚线轨迹。本装置解决了传统切割中线体易绷断、冷却不均、设备寿命短等问题，使金刚线绷断率降低85％，12英寸和8英寸晶圆切割精度达±4μm，电机功率衰减率＜5％，设备维护成本降低40％，适用于大尺寸碳化硅晶圆量产场景，具有显著的技术与经济价值。