一种大尺寸硅片钨丝线切割液、其制备方法和用途
本发明涉及一种大尺寸硅片钨丝线切割液、其制备方法和用途,其中钨丝线切割液,按照重量份计算包括如下组分:去离子水40‑60份;增溶剂7‑15份;润湿剂10‑20份;润滑剂2‑8份;分散剂1‑8份。本发明采用的分散剂不仅可以渗透到硅粉之间起到良好的分散性,其自身的润湿渗透性可以与润湿剂协同作用,提高切割力,降低断线率。
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