원래 이름 기록: 江西电投新能源科技有限公司

本发明公开了一种立式物理气相沉积设备及其在铜电镀异质结太阳电池中的应用，涉及异质结太阳电池领域。立式物理气相沉积设备包括腔体以及设置在腔体内的支撑系统、阳极、阳极板、靶材、反向轴承、辐射挡板、布气管、传动滚轮和载板，靶材沿垂直方向设置在腔体内部且能够绕垂直方向进行旋转。立式物理气相沉积设备能够应用于铜电镀异质结技术中的铜种子层工艺，因为是垂直设计，硅片在镀膜过程中为竖直状，所以镀膜过程中硅片不会因为重力影响而发生四角翘曲导致边缘绕度；而且由于竖直镀膜，在整个工艺过程中，避免杂质粉尘落在硅片表面，使铜种子层和TCO表面接触更稳定，从而提升结合力和降低接触电阻，最终提升成品电池良率。

本发明属于太阳电池技术领域，一种单面无籽铜电镀铜栅线异质结太阳电池及其制备方法，包括以下步骤S1：将蓝膜片的背面印刷银栅；S2：对单面银栅电池片的正背面印刷油墨；S3：电池的正面正常曝光、显影作出图案；S4：将步骤S3获得的电池片放置活化设备中，进行活化处理，用电还原的方式还原蓝膜栅线位置表面的In或Sn；S5：将正面活化后的电池片进行电镀铜栅线；S6：去膜，最终形成正铜背银高效异质结太阳电池。针对现有的异质结太阳电池制备工艺优化，无需进行PVD铜种子层溅射操作，减少溅射损伤，为一种成本更低、效率更高的制备方法。且对电镀栅线过程优化，省去PVD步骤增大产能，减少溅射铜种子层引起的效率损失，提升电池效率。