№ CN121397879A발명
유효一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法
本发明公开了一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法,包括:获取最终补偿参数、确定补偿区间、对相邻的补偿区间进行平滑处理等步骤。通过上述方式,本发明一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法,通过投影的方式得到直线物件的补偿区间,以有效提升对直线物件补偿分区的速度以及准确度,从而大大提高了补偿优化的效率以及补偿效果,降低了生产成本,同时,通过在相邻区间内添加横向阶梯线过度的方式,以动态控制补偿的平滑度,保证了产品的良率。
❖悦谱软件(深圳)有限公司; 苏州悦谱半导体有限公司严启晨; 金正扬§ 1/6 청구항H05K 3/00 (2006.01), H05K 3/06 (2006.01)