№ CN121383617A발명
유효一种自均温井式真空气氛炉
本发明涉及一种自均温井式真空气氛炉，其特点是炉膛内布置有多个独立的发热体，且发热体呈阵列分布，每个封接组件对应一个发热体，保温了炉温的均匀性与封接结果的一致性。本发明具有结构合理、温场均匀、能耗低、封接件装载量大、工作效率高、操作简便等特点，解决了批量封接时由于封接件对热辐射的阻挡作用而造成靠近发热体与远离发热体附近的温场不均匀，进而造成封接件质量差异问题。
❖中国科学院上海硅酸盐研究所; 江苏中科兆能新能源科技有限公司温兆银; 吴相伟§ 9/9 청구항F27B 5/04 (2006.01), F27B 5/16 (2006.01), F27B 5/06 (2006.01) +49