원래 이름 기록: 星奇（上海）半导体有限公司

本发明涉及半导体设备检测技术领域，公开了一种半导体流控部件的快速检测工装及系统，包括底座、进口端连接组件、出口端连接组件、可调节限位组件以及夹紧驱动组件，所述进口端连接组件包括固定设于所述底座的一端的进口端支撑座，所述进口端支撑座上贯穿设有用于安装进口端密封接头的进口接头安装孔。本发明的一种半导体流控部件的快速检测工装及系统，通过快速夹夹紧机构、弹性密封片设计、可调节限位组件及多接口适配结构，实现待测流控部件的快速装夹、正负压检漏兼容及多规格接口适配，同时避免密封面损伤与误判，提升检漏效率与可靠性，解决传统工装效率低、密封失效、兼容性差的问题。

本申请提供一种陶瓷微动开关及机械式控制元件。包括：绝缘的陶瓷基座、第一静触点、第二静触点、切换片以及动触点；第一静触点、第二静触点以及切换片的固定端均设置于陶瓷基座上；动触点固定于切换片的自由端；动触点被配置为在切换片的驱动下，能够在第一位置与第二位置之间运动；在第一位置，动触点与第一静触点接触，并与第二静触点分离；在第二位置，动触点与第二静触点接触，并与第一静触点分离。本申请实施例采用一体化设计，结构简单，且能适应不同苛刻工况，有效避免因机械磨损产生粉尘并污染触点所引发的“软失效”风险，显著提升了开关在长期微动操作下的稳定性和可靠性。