№ CN121380798A발명
유효一种高纯铜靶材的加工方法
本发明提供了一种高纯铜靶材的加工方法,所述加工方法包括如下步骤:将高纯铜靶坯经塑性加工后,得到变形铜靶坯,将所述变形铜靶坯依次进行第一阶段退火和第二阶段退火,然后进行机加工,得到高纯铜靶材成品。本发明提供的加工方法,在对铜靶材进行塑性加工后,进行两阶段退火处理,通过退火过程的精准控制,平衡靶材内部应力,靶材仍保持高质量的微观结构,靶材在经受机加工后,如切削,仍能保持高尺寸精度,低平面度和高平行度,进而提升靶材溅射平稳性,提升镀膜质量。
❖广东江丰电子材料有限公司; 宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军; 庄展业; 郭芬; 范文新§ 1/10 청구항C22F 1/08 (2006.01), C21D 9/00 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01) +111