№ CN121342482A발명
유효一种高长径比靶材及其制备方法和应用
本发明公开了一种高长径比靶材及其制备方法和应用。本发明的高长径比靶材的制备方法包括以下步骤:1)制备混合物粉体;2)将混合物粉体进行预烧,得到预烧粉体;3)将预烧粉体、粘结剂、分散剂和溶剂混合进行球磨或砂磨,再进行干燥和造粒,得到造粒颗粒;4)将不同粒径的造粒颗粒注入模具,通过多段分级升压保压进行成型,得到坯件;5)将坯件进行烧结,得高长径比靶材。本发明通过改进坯体压制过程、靶材组成成分、预烧与烧结的气氛、造粒颗粒组成、烧结工艺等,制备得到了高长径比、均匀性好、具有一定电导率、在电子束轰击过程中不会炸裂的靶材,适合进行大规模工业化生产和应用。
❖中山大学; 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司韩灿; 何文杰; 陈茵芝; 高平奇; 张勇; 左国军§ 4/10 청구항C04B 35/01 (2006.01), C04B 35/622 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01) +17