一种精确定位的晶圆盒搬运设备
一种精确定位的晶圆盒搬运设备,其包括设备机架,放置工位,搬运机构。所述晶圆盒包括盒体,把手。所述设备机架包括工作台面,支架。每个所述放置工位均包括限位块,定位传感器,反射传感器,定位销。所述搬运机构包括固定板,水平移动机构,垂直移动机构,机械展臂,提取夹,定位器。所述提取夹包括夹爪主体,爪部,提取夹限位块。与现有技术相比,本发明通过设置所述放置工位,保证所述晶圆盒被准确地放置在所述限位块内,实现自动化精准放置所述晶圆盒。通过设置所述搬运机构,并在所述提取夹上设置所述提取夹限位块和定位器,使得所述提取夹在夹取所述晶圆盒时,位置准确并能够有效规避所述晶圆盒因为夹持不稳而掉落的风险。