원래 이름 기록: 三卿光学（深圳）有限公司

本发明涉及一种立式CTS光刻设备，包括机架，机架上设置有用于对网框进行夹持的夹持机构和对夹持的网框背面进行曝光的曝光机构，所述曝光机构包括设置在机架上且能够横向和竖向移动的曝光移动结构，曝光移动结构上设置有点激光组件和曝光调节电机，曝光调节电机配合有曝光调节块，且曝光调节电机驱动曝光调节块升降，曝光调节块连接有曝光调节座，曝光调节座上设置曝光头，曝光移动结构处于曝光头下方的位置安装有反光镜，曝光头通过反光镜产生的光斑与点激光组件产生的点激光位置一致，点激光处于光斑中心，通过曝光调节结构调节曝光头与反光镜之间的间距，进而调节焦距，同时配合点激光组件来精准的确定光斑的位置，如此即可实现精准的曝光。