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本文公开了一种用于光刻设备的薄膜，所述薄膜包括多个纳米管，其中所述多个纳米管包括用于对不期望的辐射进行过滤的硅基纳米管。还公开了一种薄膜组件，该薄膜组件包括这种薄膜和被构造成支撑该薄膜的结构。还公开了一种制造薄膜的方法，该方法包括制备多个纳米管，并且布置所述纳米管以形成薄膜。

本公开涉及用于光刻设备的静电夹具，所述静电夹具包括：夹具主体；大致平面的电极布置，所述大致平面的电极布置包括多个电极和一个或多个连接层，所述多个电极被布置成多个区段；并且所述一个或多个连接层被配置为允许对所述多个电极的单独寻址；多个突节，所述多个突节从所述夹具主体突出；和一个或多个解复用器，所述一个或多个解复用器与所述一个或多个连接层电连通，其中，所述一个或多个解复用器被配置为按顺序地寻址电压源对所述多个电极的选择，由此向所选择的电极提供电压。

本发明提供一种声学阻尼装置，所述声学阻尼装置包括外壳和内管，所述外壳包围流动通道，所述流动通道具有连接到液体入口的第一端和连接到液体出口的第二端，所述内管布置在所述外壳内，其中，在所述内管内限定一阻尼空间，5其中，所述流动通道在所述内管与所述外壳之间延伸，并且其中，所述内管至少部分地由弹性材料或粘弹性材料制成，以阻尼流动通过所述流动通道的流体中的压力波。

一种用于多个带电粒子光学设备的带电粒子光学模块（200），多个带电粒子光学设备配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，带电粒子光学模块包括：布置在发射器层的发射表面（80）处的至少一个发射器（21），每个发射器配置为发射用于源束的带电粒子；用于至少一个发射器的至少一个提取器电极（27），其中至少一个提取器电极是平面的，且在每个提取器电极中限定用于由相应的发射器发射的带电粒子的束孔径；和配置为将每个提取器电极与发射表面间隔开的间隔件（88），其中间隔件是电绝缘体且包括位于提取器电极与发射表面之间的绝缘体表面（94），其中绝缘体表面的至少一部分相对于垂直于发射表面的方向成角度。

用于多个带电粒子光学设备的带电粒子光学模块，多个带电粒子光学设备被配置为将带电粒子束沿着相应的束路径引导向样品位置，带电粒子光学模块包括：多个发射器，该多个发射器被配置为沿着相应的源路径发射带电粒子的相应的源束；以及多个带电粒子光学板元件，该多个带电粒子光学板元件被配置为对源束进行操作，并且被配置用于源束的通过的多个束孔径被限定在其中，其中至少一个带电粒子光学板元件为多个发射器所共用，其中带电粒子光学板元件包括被配置为对源束进行单独操作的提取器布置。

一种用于带电粒子光学设备的带电粒子光学模块（200），带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，带电粒子光学模块包括：发射器（21），被配置为发射带电粒子的源束；多个带电粒子光学板元件（24‑26），被配置为对源束进行操作并且限定用于源束通过的多个束孔径（266）；以及间隔件（33），被配置为将带电粒子光学板元件中的两者彼此间隔开，其中间隔件包括与带电粒子光学板元件中的一者接合的至少一个接合表面，接合表面是平面的。

本公开提供了一种激光系统，所述激光系统包括：传输系统，所述传输系统被布置成沿束路径将激光束从入口传输到目标区，其中，束路径设置有多个反射光学元件，所述多个反射光学元件包括在其上具有反射涂层的基板，其中，所述基板由多孔或烧结陶瓷构成、优选地由氧化铝构成。

本发明提供一种包括永磁马达的洛伦兹型永磁马达，所述永磁马达包括至少一个线圈组件和至少一个磁体组件。所述至少一个磁体组件包括：第一磁体组，所述第一磁体组包括沿第一方向延伸的两个或更多个初级磁体；和第二磁体组，所述第二磁体组包括沿垂直于所述第一方向的第二方向延伸的两个次级磁体。所述两个或更多个初级磁体被放置成沿所述第二方向彼此相邻且具有交替的偏振方向。次级磁体相对于所述第一方向布置在所述第一磁体组的每个端上。从垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向看，所述第二磁体组的所述次级磁体与所述至少一个线圈组件的转弯区段的至少一部分叠置。

一种用于夹持衬底（例如，硅晶片）的静电夹具包括：本体；至少一个中央电极；以及至少一个周边电极。所述本体限定一表面和从该表面延伸的多个突起部（也被称为突节）。多个突起部包括第一组中央突起部和第二组周边突起部。所述至少一个中央电极邻近第一组中央突起部，并且所述至少一个周边电极邻近第二组周边突起部。第二组周边突起部比第一组中央突起部延伸得更远离所述表面。也就是说，最外侧突节具有比中央突节更大的高度。在与突起部大致平行的方向上，第二组周边突起部可以具有比第一组中央突起部更小的刚度。

描述了一种超连续谱辐射源，包括：调制解调器，可操作为调制包括辐射脉冲的串的泵浦激光辐射，以提供经调制的泵浦激光辐射，调制使得选择性地提供脉冲的猝发串；以及中空芯部光子晶体光纤，可操作为接收经调制的泵浦激光辐射，并且激励包含在中空芯部光子晶体光纤内的工作介质，从而产生超连续谱辐射。

一种产生极紫外（EUV）辐射的方法，包括将激光束的激光脉冲引导至锡目标上以产生EUV发射等离子体，其中所述激光脉冲具有至少150 ns的持续时间且具有在1.6微米与2.5微米之间的波长。