원래 이름 기록: 沈阳富创精密设备股份有限公司

本发明涉及工装治具技术领域，具体涉及一种板式组合夹具，将一整块大型整板拆解成多个微型小板，所述多个微型小板根据零件的大小和特征排列，通过连接件紧密拉接，微型小板包括基础组块、定位组块和吊具锁块。本发明无需新制工装底板，仅需按设计摆放出图，即可根据图纸快速拼装好所需工装，而且可在不使用的时候，快速拆卸组合成其它项目所需工装，真正的实现了工装标准化、模块化通用，可任意拼接无限循环使用，完全替代了传统专用工装板，在首件研制阶段可助力缩短加工周期，节约工装治具成本。而且拼装使用灵活，方便快速拆卸更换，并具备正把和反把两种装夹方式。

本发明涉及半导体设备零部件加工技术领域，具体为一种气体歧管块的电解抛光装置，包括：气体歧管块、连接架A、连接架B、蝶形螺丝和内六角螺钉；其中，所述连接架A和连接架B底部的两端通过内六角螺钉安装有连接板A，所述连接架A和连接架B两侧的下端通过内六角螺钉安装有连接板B，所述连接板B顶部的一端安装有连接板E。本发明通过设置与气体歧管块内部细交叉孔相适配的辅助阴极，利用电解抛光技术，能够对细交叉孔内壁进行有效抛光，解决了因孔径细小无法机械抛光的问题，使气体歧管块内部细交叉孔满足使用的粗糙度要求，保证了混合气体流量的精确控制。

本发明涉及半导体设备零部件表面处理技术领域，具体涉及一种用于弓形零件的弹性压紧排列电抛治具及其工作方法。将弓形零件放置于挂杆上，通过弹性压紧架进行柔性压紧，利用限位块固定其位置；旋转旋钮调节弹性压紧架的压紧力至合适程度；铜勾连接外部电抛电源后，电流经铜勾、钛杆、挂杆传导至弓形零件，形成完整电抛回路，从而对弓形零件进行电解抛光，使其表面粗糙度满足使用要求。本发明克服现有技术中半导体设备弯曲状弓形零件电抛作业困难的缺陷，提供一种弹性压紧排列电抛治具，实现对弓形零件的柔性压紧、稳定导电和有序排列，从而完成高效均匀的电解抛光。

本发明涉及IC半导体洁净度测试技术领域，具体涉及一种金属零件内腔痕量金属元素检测方法，工装整体置于无尘环境中，包括测试台、萃取溶液槽、容积式泵和样品收集槽；所述容积式泵进口连接萃取溶液槽，萃取溶液槽内盛装酸液；容积式泵出口通过粘接1/4管的方式紧密连接零件的内腔进口端，零件放置在测试台上，测试台下方内腔出口端处安装样品收集槽。本发明测试工装主体通过1/4管连接零件内腔进口端，确保萃取酸液能够稳定恒速充满整个零件内部，液体可以充分接触金属内壁，将内壁微污染萃取到溶液中，从而进行收集检测，方法操作简便，结果可靠，为高洁净度金属零件内腔的清洁度检测提供了一种高效手段。

本发明涉及半导体带有弧面零件加工装夹技术领域，具体涉及一种六爪通用扇形自适应夹具，包括六爪卡盘、六个扇形盘和自适应夹头组件；六爪卡盘与立车连接，作为装夹的基础，自适应夹头组件通过轴肩螺钉有序且可摆动地安装在扇形盘上，扇形盘均匀安装在六爪卡盘上；零件的弧面表面稳定贴合在自适应夹头组件上。本发明通过各部件的协同工作，能够对半导体行业的薄壁环形、圆形零件进行稳定且自适应的装夹，保证了立车加工时零件的稳定性，有效提升了加工精度与产品质量；同时，夹具对不同规格的薄壁环形、圆形零件具有良好的适应性，通用性强，满足了半导体行业多样化的加工需求。

本发明公开了一种拼装组合卡盘，其涉及工装治具技术领域，包括底板、多个支撑柱、支撑盘、驱动件、多个安装座、内撑机构和外抱机构，所述支撑盘通过多个支撑柱固定设置在底板上，所述驱动件设置在底板上表面的中心位置，多个安装座为环形矩阵排布且固定设置在支撑盘的上表面，所述内撑机构和外抱机构能够设置在安装座上的任意位置，所述驱动件能够驱动内撑机构和外抱机构对零件进行夹紧固定；本发明采用拼装组合式结构设计，能够根据零件的尺寸和加工需求选择内撑机构或者外抱机构并进行安装，再通过驱动件对内撑机构或者外抱机构施加作用力使其夹紧零件，提升对零件夹紧固定的适用范围，提升夹持的稳定性以及后续加工的精准度。

本发明涉及表面处理电解抛光技术领域，具体涉及一种通气基座孔内电解抛光批量上挂治具及其工作方法。上挂治具包括主框架和辅助阴极组件；主框架包括阳极挂钩、阳极挂杆、阴极挂钩、阴极挂杆、连接杆、阳极连接板、阴极框架A、阴极框架B，辅助阴极组件包括阴极顶板、阴极侧板、绝缘衬套、绝缘板、锥形螺母、锥形螺栓、横向阴极针、垂直阴极针、导电连接块。本发明框架式承载架构使工件处于悬吊态位，实现内腔通道与电解液无死角接触，保障浸润均一性；通过主辅双阴极体系（阴极板全局电场调控+阴极针局部电流补偿），抑制复杂型面电流密度梯度，精准管控深孔、窄缝极化现象，达成表面高光洁度的超精密抛光。

本发明涉及半导体行业零件清洗技术领域，具体涉及一种用于不规则半导体零件清洗的清洗框及其工作方法，清洗框包括主架、多根支撑条、一对横梁和间隔替换板；主架为框架结构，前后两面的框架上分别对应开设两条水平滑道，底面沿前后方向平行设置框架结构；支撑条安装在主架的底面，上面放置零件，从底部支撑零件进行高压清洗；横梁上安装间隔替换板，两端与滑道配合，调节两块间隔替换板之间的间距，夹紧固定零件。本发明针对不规则形状零件具有通用性，清洗框主架侧壁设计腰形滑道，支撑零件的配件为间隔尺寸不同的替换板，替换板通用性强，且具有底部支撑两侧对夹使产品稳定的优点；间隔板通过螺钉锁紧在横梁上，具有快速调节，支撑稳定的优点。

本发明涉及机械加工金属切削刀具技术领域，具体涉及一种用于加工燕尾密封槽的刀具组及其工作方法，刀具组包括LR刀具、LL刀具、RL刀具和RR刀具四种刀具，每种刀具均包括刀柄、刀颈、刀口、刀尖和断屑槽，刀颈在刀柄下方，刀颈下方为刀口，用于切削，刀口末端为刀尖，用于加工槽；本发明通过不同刀具的配合，可实现外圆台阶燕尾槽、无遮挡端面燕尾槽以及内孔台阶燕尾槽的加工，解决了燕尾槽加工中刀具适配性差、加工效率低的问题，具有结构设计合理、加工范围广、加工精度高的优点。

本发明涉及机械加工领域零件加工辅助装置技术领域，具体涉及一种内孔刀检测机构，包括底板、刀架和检测体；底板上开设滑轨槽，一端两个通孔分别内置定位套C和定位套D，通孔之间开设螺纹孔；刀架上部安装刀具，底部带有滑轨块，与滑轨槽配合，刀架底部开设螺纹孔，通过螺栓B穿过滑轨槽与刀架底部固定；检测体底部分别内置定位套A和定位套B，定位销A和定位销B分别与定位套A、定位套C和定位套B、定位套D配合，两个圆孔之间开设螺纹孔，通过螺栓C将底板和刀架的螺纹孔连接。本发明解决车床车削内孔时刀具干涉难题，实现对圆形内孔零件的稳定加工，同时达成快速、精准判别刀具是否合格的目标，为机械加工流程提供可靠的刀具检测保障。

本发明涉及二段式开启真空角阀技术领域，具体涉及一种用于连接高真空管路的二段式真空角阀，包括角阀固定机构、升降组件；所述角阀固定机构包括上盖板、气缸体和阀体，阀体包括主活塞、辅活塞、主阀芯和辅阀芯；所述主通气口与气缸体的主腔室联通，辅通气口与气缸体的辅腔室联通；升降组件包括主活塞、辅活塞和波纹管，用于控制主阀芯或辅阀芯开闭，且辅阀芯的流量可调节。本发明通过串联气缸及导向结构的设计应用，使角阀具有二段开启的稳定升降功能；通过辅阀芯的涡状线结构、异形活塞及刻度盘的串联结构设计，使得无需拆开角阀的前提下，调节慢抽流量大小，且可以通过角阀上端的可视化开口。