奕诺微（上海）分离技术有限公司

本发明涉及色谱分析技术领域，特别是涉及一种金刚石镀层色谱柱及其制备方法、应用。所述色谱柱的制备方法包括如下步骤：将所述第一色谱柱装载至反应腔，反应腔室抽真空；通入惰性气体一，利用高功率脉冲磁控溅射在第一色谱柱内壁沉积第一Cr层；通入惰性气体二，利用高功率脉冲磁控溅射在Cr层上沉积第一CrN层；重复，再依次沉积第m Cr层、第m CrN层，形成过渡层，得到第二色谱柱；采用等离子体活化过渡层表面，随后在活化后的过渡层表面植入纳米金刚石晶种，得到第三色谱柱；采用CVD沉积技术在第三色谱柱内壁制备类金刚石层，得到金刚石镀层色谱柱。本发明的色谱柱具有优异的化学惰性和镀层结合力，适用于复杂样品的分析。