乐山市京运通半导体材料有限公司

本发明涉及直拉硅单晶技术领域，具体涉及一种直拉单晶磷锑共掺自动化系统及方法，包括：工艺配方读取模块，用于采集炉台预设的工艺参数并实时监测工艺参数的更新，将采集的工艺参数发送至磷锑共掺量自动计算模块，磷锑共掺量自动计算模块，内置锑挥发速率模型及磷锑掺杂量耦合计算模型，用于计算初始磷、锑掺杂量，电阻率闭环修正模块，用于获取已产出单晶硅棒的实测电阻率，并根据实测电阻率与目标电阻率的偏差修正模型的系数；炉台状态采集与补掺智能触发模块，用于实时采集炉台运行状态，并计算锑补掺量并触发补掺指令。本发明显著降低了因参数变化导致的电阻率超标及单晶硅棒降等率，高度适配光伏及半导体领域大规模量产需求。