深圳镭赫技术有限公司

本发明公开了一种承载装置及其工作方法、处理装置及其处理方法，包括：第一驱动机构，用于驱动处于所述预设位置的所述夹持组件沿第一方向进行第一移动，以使处于预设位置的所述夹持组件缩回至样品边缘靠近卡盘座中心的一侧，所述第一方向为自夹持组件对样品边缘的夹持位置指向卡盘座中心的方向；导向机构，用于对处于所述预设位置的夹持组件进行导向，以使夹持组件在所述第二驱动机构的驱动下相对于所述卡盘座进行第三移动，以使处于预设位置的夹持组件顶部位于所述承载面朝向卡盘座的一侧。本发明提供一种承载装置，在处理过程中可使到达预设位置的夹爪适时打开并避让，以避免夹爪遮挡样品的边缘，可在一次处理过程中完成整个边缘的检测。