一种Micro LED用低膨胀系数玻璃基板及其制备方法
本发明涉及一种MicroLED用低膨胀系数玻璃基板及其制备方法,属于低膨胀玻璃技术领域。所述玻璃基板以摩尔百分比计,其组成包括:SiO55‑70%、AlO15‑25%、LiO 2‑5%、MgO 1‑8%、CaO 1‑8%、ZrO1‑4%、澄清剂0.1‑1.5%,且其中(MgO+CaO)与LiO的摩尔比控制在2.0‑4.0之间。制备方法包括:配料、采用两段式升温工艺进行熔融澄清、降温搅拌均化、溢流下拉法成型、精密退火及分段控制冷却。本发明的核心在于通过独特的组成设计,利用MgO和CaO稳定LiO并协同调控β‑石英固溶体微晶相的析出,使基板获得超低热膨胀系数,解决了Micro‑LED制程中的热失配问题。